高純六氟化硫氣體都適用于哪些行業(yè)?
六氟化硫是一種無機化合物,化學式為SF?,常溫常壓下為無色無臭無毒不燃的穩(wěn)定氣體,六氟化硫分子結(jié)構(gòu)呈八面體排布,鍵合距離小、鍵合能高,因此其穩(wěn)定性很高,在溫度不超過180℃時,它與電氣結(jié)構(gòu)材料的相容性和氮氣相似。
電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑,廣泛應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域,用作電腦芯片、液晶屏等大型集成電路制造中的等離子刻蝕及清洗劑。還可用作氮準分子激光器的摻加氣體。在氣象、環(huán)境檢測及其他部門用作示蹤劑、標準氣或配制標準混合氣。
在高壓開關(guān)中用作滅弧和大容量變壓器絕緣材料。也可用于粒子加速器及避雷器中。此外還作為一種反吸附劑從礦井煤塵中置換氧。
可用于有色金屬的冶煉和鑄造工藝,也可用于鋁及其合金熔融物的脫氣和純化。在微電子業(yè)中,可用六氟化硫蝕刻硅表面并去除半導體材料上的有機或無機膜狀物,并可在光導纖維的制造過程中,作為單膜光纖隔離層摻雜劑。
六氟化硫由于其化學穩(wěn)定性好和對設(shè)備不腐蝕等特點,在冷凍工業(yè)上可用作冷凍劑(操作溫度-45~0℃之間)。由于對α粒子有高度的停止能力,還用于放射化學。
在高壓開關(guān)中用作滅弧和大容量變壓器絕緣材料。也可用于粒子加速器及避雷器中。此外還作為一種反吸附劑從礦井煤塵中置換氧。
可用于有色金屬的冶煉和鑄造工藝,也可用于鋁及其合金熔融物的脫氣和純化。在微電子業(yè)中,可用六氟化硫蝕刻硅表面并去除半導體材料上的有機或無機膜狀物,并可在光導纖維的制造過程中,作為單膜光纖隔離層摻雜劑。
六氟化硫由于其化學穩(wěn)定性好和對設(shè)備不腐蝕等特點,在冷凍工業(yè)上可用作冷凍劑(操作溫度-45~0℃之間)。由于對α粒子有高度的停止能力,還用于放射化學。