六氟化硫在高溫下的反應
合成過程中產生的雜質外，六氟化硫氣體還可以在氣體填充過程中與少量空氣、水、礦物油和其他雜質混合，這些氣體具有或將產生某些有毒物質。因此，為確保純度和質量，已為供應的六氟化硫制定了質量標準，制造商有義務在交付時出示生物測試無毒證書。
1、電氣設備發(fā)生高溫電弧時，SF6氣體會產生一些有毒物質。
例如，SF6氣體在電弧中的分解以及與氧氣的反應會產生有毒物質，如含硫氟化物、含硫四氟和含硫氟化物。
2、電器中六氟化硫氣體的分解產物與其中的水發(fā)生反應，產生一些有毒產物。例如，SF6氣體降解產物與水之間的二次反應產生氫氟酸、二氧化硫、硫酸等。
3.SF6氣體和電氣設備中的分解產物與電極（銅鎢合金）和金屬材料（鋁、銅）反應，產生一些有毒產物。例如，六氟化硫氣體和分解產物與電極或其他材料反應：AlF3（固體粉末）、AlF3（固體粉末）、CuF2（固體粉末）和其他固體粉末
4.SF6氣體和電氣設備中的分解產物與絕緣材料發(fā)生反應，產生一些有毒產品。如絕緣部分用環(huán)氧酚醛玻璃纖維布板（棒、管），含硅；或環(huán)氧樹脂鑄件、模塑件、瓷瓶、硅橡膠、硅脂等。以石英砂和玻璃為填料，起化學作用，生產SiF4、Si（CH3）2F2等產品。
上述六氟化硫氣體高溫分解產物導致六氟化硫氣體純度不純的問題。
